合肥光掩模项目（又称 “合光光掩模项目”）EPC 总承包工程，位于合肥经开区新桥科创示范区，是安徽省重点集成电路产业项目，由合光光掩模科技（安徽）有限公司投资、十一科技以 EPC 模式总承包建设。项目总投资约 50.1 亿元，占地 49.5 亩，总建筑面积约 3.35 万平方米，2023 年 9 月中标、2024 年 5 月主体封顶、2025 年投产。建设内容包括高标准洁净厂房、动力中心及配套设施，聚焦 iline、KrF 光掩模量产并布局 ArF 技术，规划月产能超 10 万片，建成后将填补国内高端光掩模产能缺口，支撑合肥集成电路全产业链自主可控发展。